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• 美国推出创新BAT激光器：EUV光刻能效提升十倍！

  财经

  美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室（LLNL）推出了一种名为大孔径铥（BAT）激光器，旨在推动极紫外（EUV）光刻技术的发展。该激光器的效率被认为超越现有的ASML EUV光刻机，为未来的光刻...

  2025-01-07【财经】

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• 美国推出创新BAT激光器：EUV光刻能效提升十倍！

  精选

  美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室（LLNL）推出了一种新型大孔径铥（BAT）激光器，以推动极紫外（EUV）光刻技术的进步。据称，该激光器的效率超越了当前ASML EUV光刻机中所使用的技术，...

  2025-01-07【精选】

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• 美国推出先进BAT激光器：在EUV光刻中效率提升十倍！

  宏观洞察

  美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室（LLNL）正在开发一种新型激光器，其效率比传统CO2 EUV激光器高出10倍。这一突破有望为下一代极紫外光（EUV）光刻技术的进步提供重要支持。该激光器的...

  2025-01-06【宏观洞察】

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• 日本计划 2027 年量产 2nm，首台 EUV 光刻机已接收：重达 71 吨，分四阶段安装

  专栏

  日本初创晶圆代工厂 Rapidus 成功接收首台 ASML EUV 光刻机，成为日本首家拥有该设备的公司。...

  2024-12-19【专栏】

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